Sci. Adv.:激光辅助气相沉积改善材料晶化效果
纳米技术 纳米 2021-01-25

构建高浓度掺杂的同时保证结晶性对于材料合成而言非常困难,但是其在科学概念上揭示材料隐藏的性质非常重要,有鉴于此,内布拉斯加大学林肯分校陆永枫等报道了一种有效的方法,在燃烧化学气相沉积制备硼掺杂金刚石(BDDs)的过程中,通过激光振动激发关键自由基物种(BH2),改善了掺硼金刚石晶体生长过程。这种改善的金刚石晶化策略,通过激光产生对热不平衡的大量BH抑制作用从而缓解了其中过量的BH可能导致硼的分离生长和其对晶化过程的不利影响

本文要点:

(1)

合成得到的硼掺杂金刚石(BDDs)中硼掺杂量达到4.3×1021 cm-3,薄膜的电阻达到28.1 mΩ·cm,空穴传输迁移率达到55.6 cm2 V-1 s-1,实现了比商业化BDD材料更好的参数。

(2)

高导电性晶化BDD有效的改善了在葡萄糖检测中的性能,验证了激光激发策略能够有效的改善BDD传感器器件的性能。

这种激光激发策略改善结晶度的方法有望解决半导体工业中长期以来面临的困境。

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参考文献

L. Fan, L. Constantin, Z. P. Wu, K. A. McElveen, X. G. Chen, T. He, F. Wang, C. Debiemme-Chouvy, B. Cui, R. Y. Lai, X. Li, J. F. Silvain and Y. F. Lu,† Laser vibrational excitation of radicals to prevent crystallinity degradation caused by boron doping in diamond, Sci. Adv. 2021, 7 (4), eabc7547

DOI: 10.1126/sciadv.abc7547

https://advances.sciencemag.org/content/7/4/eabc7547


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