在实验室中已经研究了真空沉积法用于钙钛矿型太阳能电池（PSC）的制造，但是效率仍然明显低于使用溶液沉积法制造的电池。陕西师范大学刘生忠，大连化物所Hui Wang和宾夕法尼亚大学Dong Yang等人报道了一种有效的真空沉积钙钛矿薄膜的方法，该方法与大面积，高通量处理兼容。

本文要点：

1）在玻璃（400 cm2）和柔性（300 cm2）的基底上制得了出色的均匀，高质量的钙钛矿薄膜。另外，开发了真空低温退火工艺以制造高质量的甲脒基钙钛矿薄膜。

2）研究发现，PSC的性能受到真空退火温度的严重影响。当退火温度最优化为60℃时，所得PSC的效率将提高到21.32％，这是使用真空沉积工艺制造的PSC的最高值。 得益于无溶剂和无空气的环境，使用真空沉积工艺制造的PSC表现出出色的长期稳定性。

Jiangshan Feng et al, High-Throughput Large-Area Vacuum Deposition for High-Performance Formamidine-based Perovskite Solar Cells, Energy Environ. Sci., 2021.

https://pubs.rsc.org/en/Content/ArticleLanding/2021/EE/D1EE00634G#!divAbstract