JACS:盐辅助MoS2化学气相沉积机理
纳米技术 纳米 2022-04-16

MoS2等二维过渡金属硫化物近些年得到广泛研究,也刺激人们发展新合成策略。最近人们发现卤盐能够改善多种TMD材料的CVD合成,但是人们对卤盐促进生成TMD的机理与其中发生的反应过程并不理解。

有鉴于此,莱斯大学Boris I. Yakobson等报道通过第一性原理计算、AIMD分子动力学模拟研究合成MoS2单层膜的机理

本文要点:

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研究发现,盐辅助合成MoS2过程关键中间体是MoO2X2 (X=F, Cl, Br, I)通过MoO3作为原料,盐辅助合成比没有盐合成MoS2的能垒更低。

此外,决速步骤能垒与卤原子的电负性呈线性变化规律,氧碘化物的合成能垒最低。本文研究解释说明卤化物增强CVD合成单层MoS2的机理。

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参考文献

Jincheng Lei, Yu Xie, Alex Kutana, Ksenia V. Bets, and Boris I. Yakobson*, Salt-Assisted MoS2 Growth: Molecular Mechanisms from the First Principles, J. Am. Chem. Soc. 2022

DOI: 10.1021/jacs.2c02497

https://pubs.acs.org/doi/10.1021/jacs.2c02497


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