金属−有机骨架（MOFs）具有由金属结点和有机连接物组成的多孔晶体配位网络。其多孔性、高比表面积、结晶度和可调性使其在气体存储、气体分离、生物医学和催化等领域具有广泛的应用前景。

近日，浦项科技大学Ji Hoon Shim，Hee Cheul Choi，Sarah S. Park采用全气相CVD法，成功制备出高质量的Cu₃(C₆O₆)₂薄膜。

文章要点

1）在SiO₂/Si衬底上制备的Cu₃(C₆O₆)₂薄膜具有较高的结晶度和独特的择优取向，与电子束外延法制备的薄膜微器件兼容，采用电子束光刻法制备了Cu₃(C₆O₆)₂薄膜基微器件，其导电性为92.5 S/cm。这些结果为单步全气相CVD法制备导电MOF薄膜提供了一种新的合成方法。

2）这种方法广泛适用于其他MOF系统。此外，该方法使导电MOF薄膜材料的基础物理研究成为可能，并为一些有前景的工业应用提供了垫脚石。

参考文献

Myeonggeun Choe, et al, Chemical Vapor Deposition of Edge-on Oriented 2D Conductive Metal−Organic Framework Thin Films, J. Am. Chem. Soc., 2022

DOI: 10.1021/jacs.2c07135

https://doi.org/10.1021/jacs.2c07135