对材料表面构筑微图案能够提高微电路到超材料各种领域的功能性。目前的传统光刻技术无法对非平面表面进行图案化,而是需要通过转移的方式将事先在平面材料上构筑的微结构转移到非平面基底,而且只能对曲率非常有限的非平面基底进行图案化。
有鉴于此,美国国家标准与技术研究院(NIST)G. Zabow报道通过能够在固态-液态之间转变的可回流(reflowable)材料,通过自由拉伸形成纳米尺度的曲率半径以及随机性的复杂拓扑结构。这种回流转移工艺有助于促进微打印技术,将高精度的平面光刻拓展至非平面基底和微结构。
参考文献
G. Zabow*, Reflow transfer for conformal three-dimensional microprinting, Science, 2022, 378(6622), 894-898
DOI: 10.1126/science.add7023
https://www.science.org/doi/10.1126/science.add7023