光刻是一种成熟的实现多层电子电路的制造方法。然而，由于厚的可伸展纳米复合导体的不透明性，采用光刻技术来制造完全由弹性基质组成的本质可伸展的多层电子电路是具有挑战性的。
在这里，首尔大学Seung Hwan Ko，韩国科学技术学院Hojeong Jeon，Wonryung Lee提出了光热光刻，可以图案弹性导体和通孔使用脉冲激光。
文章要点
1）基于激光空间加热形成的渗流网络，光热图案化可拉伸纳米复合导体在30%应变5000次拉伸下表现出比丝网印刷导体高3倍的电导率(5940 S cm−1)和5个数量级的低电阻变化(R/R0=40)。
2）此外，50μm大小的可伸展通孔可以在钝化的基础上形成图案，而不会对底部导体进行材料烧蚀和电气退化。通过重复地对导体和通孔进行图案化，高导电性和耐用的多层电路可以与逐层材料集成堆叠在一起。
3）最后，研究人员展示了一种可扩展的无线压力传感器和无源矩阵LED阵列，从而展示了一种耐用、高密度和多功能的可扩展多层电子电路的潜力。
参考文献
Sangmin Song, et al, Photothermal Lithography for Realizing a Stretchable Multilayer Electronic Circuit Using a Laser, ACS Nano, 2023
DOI: 10.1021/acsnano.3c06207
https://doi.org/10.1021/acsnano.3c06207
