为了释放硅异质结太阳能电池的全部性能，需要减少寄生损耗。在这里，苏州大学Zhang Xiaohong、Yang Xinbo、Zhou Jian、新南威尔士大学Alison Lennon开发了一种工业规模的高频等离子体增强化学气相沉积系统。

本文要点：

1) 该系统具有最小化的驻波效应，能够沉积具有优异电子选择性、低寄生吸收和高均匀性的掺杂nc-SiO_x:H。接下来，作者展示了无籽镀铜，从而产生具有高纵横比和低金属分数的网格。

2) 对于具有丝网印刷银电极和镀铜电极的M6尺寸双面硅异质结器件，作者分别获得了25.98%和26.41%的认证效率。这些结果强调了硅异质结技术的性能潜力，并降低了大规模制造的门槛。

参考文献：

Cao Yu et.al Industrial-scale deposition of nanocrystalline silicon oxide for 26.4%-efficient silicon heterojunction solar cells with copper electrodes Nature Energy 2023

DOI: 10.1038/s41560-023-01388-4

https://doi.org/10.1038/s41560-023-01388-4