三维异质结集成技术能够在垂直方向堆叠不同的功能层构筑新型3D电路,从而实现高度的集成密度和无与伦比的多功能,因此人们认为三维异质结集成技术可能引发电子学器件领域的变革。
但是,传统的3D集成技术通常包括复杂的晶圆加工和复杂的层间排线。
有鉴于此,圣路易斯华盛顿大学Sang-Hoon Bae、麻省理工学院Jeehwan Kim、延世大学Jong-Hyun Ahn等通过具有丰富集程度和多功能的人工智能硬件和二维材料进行3D集成。
参考文献
Kang, JH., Shin, H., Kim, K.S. et al. Monolithic 3D integration of 2D materials-based electronics towards ultimate edge computing solutions. Nat. Mater. (2023)
DOI: 10.1038/s41563-023-01704-z
https://www.nature.com/articles/s41563-023-01704-z