二维过渡金属二硫族化合物（TMDs）为基础纳米科学和各种技术应用提供了重要机会。由于它们在纳米尺度上的特殊性质，如可调带隙和强光与物质的相互作用，使它们在光电子和能量收集设备中极具应用潜力。TMD器件的性能主要由其结构、组成、尺寸、缺陷及其界面状态决定。TMDs的许多性质都受到合成方法的影响，因此许多研究都集中在加工具有可控物理化学性质的高质量TMDs上。基于等离子体的方法是成本效益高、可控性好、可扩展的技术，最近受到研究人员的广泛关注。近日，麦克马斯特大学Peter Kruse、谢里夫理工大学Abdolreza Simchi对二维过渡金属二硫族化合物的等离子体处理进行了综述研究。
本文要点：
1) TMDs对等离子体的反应性为TMDs的表面改性提供了许多机会，包括功能化、缺陷工程、掺杂、氧化、相工程、蚀刻、形态变化和表面能变化。为此，作者全面回顾了等离子体在TMDs领域的所有作用。
2) 作者介绍并讨论了TMDs等离子体处理和改性背后的基础科学及其在不同领域的应用，并强调了未来的前景和挑战，以证明TMDs的重要性和表面工程在下一代光电子应用中的重要性。
Saeed Sovizi et.al Plasma Processing and Treatment of 2D Transition Metal Dichalcogenides: Tuning Properties and Defect Engineering Chem. Rev. 2023
DOI: 10.1021/acs.chemrev.3c00147
https://doi.org/10.1021/acs.chemrev.3c00147
