剪切滚动工艺是一种很有前途的定向自组装方法,可以在大面积上经济有效且直接地生产高质量的亚 10 nm 嵌段共聚物线空间图案。
近日,韩国科学技术院Jeong Gon Son提出了一种高温(280℃)和快速(~0.1s)剪切轧制工艺,可以在单一工艺中实现高度取向,同时有效防止薄膜分层,可应用于大面积连续工艺。
文章要点
1)通过最大限度地减少聚二甲基硅氧烷垫的粘附力、法向力和极限剪切应变,在高达 280 °C 的温度下成功进行剪切而不会剥离,在该温度下链迁移率显着增加。
2)该方法可用于各种高χ嵌段共聚物和表面中和过程。它能够以单向方式创建半节距小至 8 nm 的嵌段共聚物图案。此外,在3英寸宽的长聚酰亚胺柔性薄膜上成功进行了0.1秒快速剪切滚动,以验证其在卷对卷工艺中的潜力。
参考文献
Cho, J., Oh, J., Bang, J. et al. Roll-to-plate 0.1-second shear-rolling process at elevated temperature for highly aligned nanopatterns. Nat Commun 14, 8412 (2023).
DOI:10.1038/s41467-023-43766-2
https://doi.org/10.1038/s41467-023-43766-2