技术进步和方法学的发展使电子显微镜达到了原子分辨率,而进一步提高显微成像的信息极限需要进一步改进方法。近日,清华大学Yu Rong报道了一种叠层成像方法,该方法将物体描述为离散原子类轨道函数(例如,高斯函数)和探测器的像差函数之和。
本文要点:
1) 使用这种方法,作者实现了微观成像信息极限的提高,即达到了14 pm。高质量的探针和物体有助于在低电子剂量下实现优异的信噪比,从而将样品厚度限制放宽到50 nm。
2) 此外,该方法能够将总相位分解为元素分量,这表明信息极限与元素有关。与传统的叠层成像方法相比,局部轨道叠层成像方法提高了空间分辨率、信噪比和厚度阈值,可以应用于金属、陶瓷、电子设备或束敏材料的原子分辨率成像。
Wenfeng Yang et.al Local-orbital ptychography for ultrahigh-resolution imaging Nature Nanotechnology 2024
DOI: 10.1038/s41565-023-01595-w
https://doi.org/10.1038/s41565-023-01595-w