二维(2D)过渡金属二硫族化合物(TMDs)由于其原子薄的结构和没有悬空键的表面,导致其在下一代电子产品中极具前景。然而,与TMDs建立高质量的金属接触是一个关键挑战,主要归因于它们的超薄结构和精细晶格。当涉及“高能”工艺的传统金属化方法时,这些独特特性使它们容易受到物理损伤和化学反应的影响。为了应对这一挑战,范德华(vdW)接触被提出作为一种“低能耗”的替代方案。近日,湖南大学Liu Yuan、Wang Yiliu综述研究了2D过渡金属二硫族化合物的范德华接触。
本文要点:
1) 在vdW结构中,金属接触可以通过物理层压/沉积在TMDs的2D结构上,确保形成原子和电子级的接触界面,同时保持2D TMDs的固有特性。因此,大量的vdW接触具有优异的物理传输性质或优异的器件性能。
2) 作者介绍了TMD晶体管中vdW接触的最新进展,并讨论了与每种器件几何形状相关的优点、局限性和前景。该综述旨在全面了解当前的研究形势,并对未来的研究方向提供见解。
Likuan Ma et.al van der Waals Contact for Two-Dimensional Transition Metal Dichalcogenides Chem. Rev. 2024
DOI: 10.1021/acs.chemrev.3c00697
https://doi.org/10.1021/acs.chemrev.3c00697