机械谐振器广泛用于传感器、换能器和光学机械系统，其中机械耗散限制了最终性能。近日，洛桑联邦理工学院Tobias Jan Kippenberg、Alberto Beccari、查尔姆斯理工大学Nils Johan Engelsen对使用耗散稀释的纳米机械谐振器进行了综述研究。

本文要点：

1) 过去15多年来，机械谐振器的质量因子增加了四个数量级，超过了室温和液氦温度下在晶体谐振器中实现的技术状态。作者概述了这些进展是如何利用“耗散稀释”取得的，即通过静态拉伸应变和动态应变中的几何非线性组合来减少耗散。

2) 然后，作者回顾了纳米机械谐振器的技术现状，并讨论了晶体材料中更高质量因子的潜力。最后，作者详细介绍了耗散稀释机械谐振器的当前和未来应用。

参考文献：

Nils Johan Engelsen et.al Ultrahigh-quality-factor micro- and nanomechanical resonators using dissipation dilution Nature Nanotechnology 2024

DOI: 10.1038/s41565-023-01597-8

https://doi.org/10.1038/s41565-023-01597-8