Nature Communications:离子束减薄工艺突破柔性光电子器件银膜的厚度极限
吴宗涵 吴宗涵 2024-03-13

将银膜缩小到10纳米理论上可以提高透明度,但在实践中由于超薄膜往往是不连续的而导致透明度和电导率降低鉴于此,来自湖南大学Huigao DuanYiqin Chen等人研究开发了一种减薄工艺来解决这一难题

文章要点:

1) 该研究证实,银膜首先沉积到具有高连续性的大厚度,然后减薄到具有超光滑表面的小厚度,这两种方法都是通过注入离子束实现的同时,在沉积过程中,银原子浅层注入基底,使银膜的厚度可达4.5 nm, 比以往任何时候都薄;

2) 此外,该研究表明,原子级表面光滑具有良好的可见透明度、导电性和所有现有透明导体中最低的雾度并且,超薄银膜表现出机械柔性的独特稳健性因此,工艺为柔性光电子器件提供了一种非常前景的透明导体解决方案。

参考资料:

Ma, D., Ji, M., Yi, H. et al. Pushing the thinness limit of silver films for flexible optoelectronic devices via ion-beam thinning-back process. Nat. Commun. (2024).

10.1038/s41467-024-46467-6

https://doi.org/10.1038/s41467-024-46467-6


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