柔性触觉传感器在人机界面、机器人操作、生物医学等领域发挥着重要作用。然而，它们灵活的外形因素在与基于晶圆的设备、商业芯片或电路板的集成方面提出了挑战。

近日，北京大学Mengdi Han介绍了一套柔性模块化触觉传感器的制造方法、器件设计、集成策略和生物医学应用，克服了上述挑战，实现了与商业电子的合作。

文章要点

1）传感器利用光刻技术定义的金属或合金细线作为传感元件。将这些元件布置在三维空间中，可以精确、无滞后、解耦地测量温度、法向力和剪切力。

2）将这些传感器组装在柔性印刷电路板上，再加上商业电子产品，就形成了各种柔性电子系统，具有皮肤界面无线测量、生物力学信号连续监测和触觉信息空间映射的能力。柔性模块化触觉传感器扩展了微电子和微电子的功能组件组合。

参考文献

Chen Xu, et al, Three-dimensional micro strain gauges as flexible, modular tactile sensors for versatile integration with micro- and microelectronics, Sci. Adv. 10, eadp6094 (2024)

DOI: 10.1126/sciadv.adp6094

https://www.science.org on August 26, 2024