机电金属氧化物，例如压电陶瓷，由于其结晶度要求，通常与软聚合物不相容，导致加工温度较高。

近日，丹麦技术大学Vincenzo Esposito，Victor Buratto Tinti探索了二氧化铈基薄膜作为柔性电子产品机电致动器的潜力。

文章要点

1）缺氧萤石，如二氧化铈，是中心对称的非压电晶体金属氧化物，具有巨大的电致伸缩性能。 这些薄膜在低温下沉积，可与聚酰亚胺和 PET 等各种软基材无缝集成。二氧化铈薄膜表现出显着的电致伸缩性能（M₃₃ > 10⁻¹⁶ m² V⁻² ）和逆伪压电系数（e₃₃ > 500 pmV⁻¹ ），可在软机电系统中实现大位移。

2）研究人员研究探索了低频范围（<1 kHz）下的谐振和非谐振配置，展示了三维和透明电子产品的多功能性。因此，这项工作促进了对氧缺陷金属氧化物机电性能的理解，为开发用于生物医学设备、光学设备等领域的多功能高效机电系统铺平了道路。

参考文献

Victor Buratto Tinti, et al, Oxygen-defective electrostrictors for soft electromechanics, Sci. Adv. 10, eadq3444 (2024)

DOI: 10.1126/sciadv.adq3444