高阶衍射（HOD）在许多应用中是不理想的，因为它会伴随着鬼影图案和效率损失。与通过亚波长结构来抑制HOD不同，这些结构在大规模制造中具有挑战性，而管理HOD的技术仍然欠发展。基于此，来自中国科学技术大学的Kun Huang、Kun Huang等人报道了一种高效管理HOD的方法，特别是在衍射透镜中进行亚衍射极限聚焦。他们通过分析公式将衍射级数与每个区域的宽度相关联，展示了独立操作HOD的能力。实验表明，使用高阶透镜的共聚焦显微成像和激光消融光刻技术在可见光范围内取得了190纳米的分辨率，并在激光消融光刻中实现了400纳米（0.385λ）的分辨率。

文章要点：

(1) 该研究展示了一种通过独立操控高阶衍射（HOD）的新方法，能够实现亚波长结构的亚衍射极限聚焦。

(2) 此外，研究结果表明，该方法显著提高了共聚焦显微成像和激光消融光刻中的分辨率，达到190纳米和400纳米（0.385λ）的分辨率。

参考资料：

He, J., Liu, H., Zhao, D. et al. High-order diffraction for optical superfocusing. Nat Commun 15, 7819 (2024).

10.1038/s41467-024-52256-y
https://doi.org/10.1038/s41467-024-52256-y