激光剥离技术（Laser Lift-Off, LLO）在超薄聚酰亚胺（PI）薄膜的制造中具有重要作用，尤其是在显示屏的生产过程中。然而，传统LLO技术在分离超薄PI薄膜时常会面临机械和电气损伤的问题，影响集成器件的性能。为了解决这一问题，来自德克萨斯农工大学的Seungman Kim提出了一种基于石墨烯的激光剥离方法（GLLO）。通过将化学气相沉积（CVD）生长的石墨烯与超薄PI薄膜之间进行界面结合，显著改善了工艺性能并提高了剥离质量。

文章要点：

（1）该研究提出了一种基于石墨烯的激光剥离方法（GLLO），石墨烯在该过程中具有以下三个主要作用：增强界面UV吸收、提高横向热扩散和减少附着力，实验结果表明，该方法不仅能有效减小PI薄膜的塑性变形，还能显著减少剥离过程中产生的碳化残留。

（2）此外，该研究还通过数值模拟验证了该机制的有效性，且该方法成功应用于分离有机发光二极管（OLED）器件，并不影响器件性能，为未来利用CVD石墨烯在激光制造工艺中的应用提供了新的可能性。

参考资料：
Kang, S., Chang, J., Lim, J. et al. Graphene-enabled laser lift-off for ultrathin displays. Nat Commun 15, 8288 (2024).

10.1038/s41467-024-52661-3

https://doi.org/10.1038/s41467-024-52661-3